[发明专利]一种应用于光伏透明导电玻璃的电磁磁控溅射法无效
| 申请号： | 201210043957.5 | 申请日： | 2012-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN103290375A | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 周文彬;刘幼海;刘吉人 | 申请（专利权）人： | 吉富新能源科技(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201707 上海市青*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明系提供一种应用于光伏透明导电玻璃的电磁磁控溅射法，其系将该玻璃基板放入真空环境中并加热玻璃，而该靶源永久磁铁外围设有4组环绕的高电流电磁场，而形成电磁磁场以拉伸等离子体放电区，以溅射出具高动能氧化物粒子，又该氧化物粒子沉积披覆于玻璃基板上；同时玻璃基板完全浸入拉伸的等离子体区内，而使氧化物粒子在玻璃基板形成结晶，且藉由该电磁磁场，其带电粒子具有比一般磁场更高动能，同时又可藉由调整电流的方式调控电磁磁场大小，进而可增加玻璃基板成膜速度及易于形成排列组合整齐之结晶结构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 透明 导电 玻璃 电磁 磁控溅射 | ||
【主权项】：
1.一种应用于光伏透明导电玻璃的电磁磁控溅射法，该玻璃基板放入真空环境中并加热，该靶源永久磁铁外围设有4组环绕的高电流电磁场，而形成电磁磁场以拉伸等离子体放电区，以溅射出具高动能氧化物粒子，又该氧化物粒子沉积披覆于玻璃基板上；同时玻璃基板完全浸入拉伸的等离子体区内，而使氧化物粒子在玻璃基板形成结晶，且藉由该电磁磁场，其带电粒子具有比一般磁场更高动能，同时又可藉由调整电流的方式调控电磁磁场大小，进而可增加玻璃基板成膜速度及易于形成排列组合整齐之结晶结构。
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