[发明专利]液相等离子体电沉积制备多元碳化物薄膜的方法无效
| 申请号： | 201210045709.4 | 申请日： | 2012-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN103031581A | 公开（公告）日： | 2013-04-10 |
| 发明（设计）人： | 罗北平;许友;黄锋;武鹄;王国祥;余红霞 | 申请（专利权）人： | 湖南理工学院;罗北平 |
| 主分类号： | C25D9/04 | 分类号： | C25D9/04;C25D9/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 414006 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明涉及碳化物薄膜的制备技术领域，具体是指一种液相等离子体电沉积制备金属/半金属/非金属的多元碳化物薄膜的工艺方法，其特征是在有机溶液或水溶液中含有碳源和待镀元素前体等组分，以各待镀前体组分被激化电离成等离子体所需电压的最高值为操作电压，操作温度为20℃~100℃，电流密度为10mA/cm2~500mA/cm2，阴阳极面积比为1：1~2，极间距为5mm~50mm，任一导电材料或带有导电层的材料为阴极（基体），通过高电压作用，阴阳极区域气泡内的待镀元素前体发生电离产生等离子体，在阴极表面沉积得到多元碳化物膜。本法低温常压操作，工艺及设备简单，易操作，成品率高，成本低，易于实现工业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 相等 离子 沉积 制备 多元 碳化物 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
一种液相等离子体电沉积制备多元碳化物薄膜材料的工艺方法，其特征是在液相电解质溶液和低温常压条件下，采用等离子体电沉积技术制备多元组分的碳化物薄膜。
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