[发明专利]一种同时测量腐蚀坑体积、面积、深度的方法

摘要

一种测量腐蚀坑体积、面积、深度的方法，属于腐蚀测量评定技术领域。采用激光共焦显微镜测量，工艺步骤为，采用激光共焦显微镜，测量步骤包括：试样截取、表面氧化产物去除、显微照相和数据测量。优点在于，通过激光共焦显微3D影像，实现对腐蚀坑体积、面积和深度的同时测量。不但可以提供腐蚀坑的3维立体图像，直观的观察腐蚀坑的大小、形貌。而且可以同时测量腐蚀坑的体积、面积、深度，解决了目前腐蚀坑测量难的技术问题。

主权项

一种同时测量腐蚀坑体积、面积、深度的方法，其特征在于，采用激光共焦显微镜测量，工艺步骤为：(1)试样截取：样品要求重量为1g～10kg，长度5～200mm，宽度5～150mm，高度5～70mm，待观测表面应平整，同一视场内样品表面最大高度差不超过10mm；(2)表面氧化产物的去除：采用1∶1体积的盐酸水溶液腐蚀，至氧化产物去除干净，然后用酒精超声清洗3分钟，用吹风机吹干；(3)显微照相：打开激光共焦显微镜，将待观测样品置于载物台上，先选择5倍物镜，粗调焦，使能较清楚成像；在5倍物镜下选择待观测区域；选好区域后，将物镜放大倍数逐渐调高，分别为10倍、20倍、50倍，每次改变放大倍数均需进一步调焦，使能在普通光源下较清楚成像；在50倍下，采用激光共焦成像模式，调整光强、焦距以便清楚显示，设定扫描高度范围，使腐蚀坑能全部包含在内，采用固定步长模式扫描，扫描步长设为0.04～0.05μm，然后进行3D扫描，获得3D影像并保存；(4)数据测量：腐蚀坑的体积、面积、表面积测量；设置图像以3D模式显示，选择体积测量，设置图像阈值，使要测量部分全部被选上；用闭合曲线将测量的腐蚀坑圈上，获得所选择的腐蚀坑的体积、面积、表面积数据，保存数据以及图像；腐蚀坑的深度测量；选择台阶测量，调整测量线位置，使其位于腐蚀坑最深处，分别点击腐蚀坑底部和未腐蚀的表面，显示所选两点之间的高度差，即腐蚀坑深度，记录数据及图像；在腐蚀坑最深处附近调整5个以上不同位置，测量结果，选择其中的最大值作为该腐蚀坑的深度。