[发明专利]一种掺杂氧化锌薄膜的制备方法有效
| 申请号： | 201210051815.3 | 申请日： | 2012-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN102586741A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 叶飞;曹善鹏;侯波;张文征 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/08 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 赵淑梅 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种电子束蒸发制备掺杂氧化锌薄膜的低能耗、易实现的工艺方法，属于透明导电薄膜制备领域。该制备方法为电子束蒸发法，包括靶材制备，基片处理，蒸镀和退火的步骤，其中，蒸镀步骤中电子束流为25～35mA，工作气压为0.40～0.80Pa。利用上述制备方法制备的掺杂氧化锌薄膜的方块电阻在50～130Ω/□之间、透光率＞90％，可广泛应用于制备太阳能电池、平板显示器和发热薄膜中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掺杂 氧化锌 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种掺杂氧化锌薄膜的制备方法，包括靶材制备，基片处理，蒸镀和退火的步骤，其特征在于：所述蒸镀步骤中电子束流为25～35mA，工作气压为0.40～0.80Pa。
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