[发明专利]成膜装置有效
| 申请号： | 201210051972.4 | 申请日： | 2012-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN102653852A | 公开（公告）日： | 2012-09-05 |
| 发明（设计）人： | 饭尾逸史;伊藤秀彦 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 胡建新 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够确保检测有无被成膜材料的检测功能的成膜装置。一种成膜装置(1)，其在工件(W)上进行成膜材料的成膜，该成膜装置具备有：成膜室(2)，容纳工件(W)并进行成膜处理；传送装置(7)，设置在成膜室(2)的内部，传送工件(W)；视口(13)，设置在划分成膜室(2)的壁(3a)上且具有透射光的防粘玻璃(27)，可实现光从成膜室(2)的外部向内部的投射；移动式传感器(11)，设置在成膜室(2)的外部，使感测光透射视口(13)的防粘玻璃(27)来投射从而检测成膜室(2)的内部有无工件(W)；及加热器(31)，用于抑制成膜材料向防粘玻璃(27)的沉积。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
一种成膜装置，其在被成膜材料上进行成膜材料的成膜，其特征在于，具备有：成膜室，容纳所述被成膜材料并进行成膜处理；传送构件，设置在所述成膜室的内部，传送所述被成膜材料；窗部，设置在划分所述成膜室的壁部上且具有透射光的透射部，可实现光从所述成膜室的外部向内部的投射；检测构件，设置在所述成膜室的外部，使感测光透射所述窗部的所述透射部来投射，从而检测所述成膜室的内部有无所述被成膜材料；及沉积抑制构件，抑制所述成膜材料向所述透射部的沉积。
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