[发明专利]侧面粗化的发光二极管及其制作方法无效
申请号: | 201210052920.9 | 申请日: | 2012-03-02 |
公开(公告)号: | CN102593301A | 公开(公告)日: | 2012-07-18 |
发明(设计)人: | 谢海忠;张逸韵;王兵;杨华;李璟;伊晓燕;王军喜;王国宏;李晋闽 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | H01L33/22 | 分类号: | H01L33/22;H01L33/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 汤保平 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种侧面粗化的发光二极管,包括:一衬底,该衬底的侧面经粗化处理;一成核层,其制作在侧面粗化的衬底上;一N型掺杂层,其制作在成核层上,该N型掺杂层有一台面;一多量子阱发光层,其制作在N型掺杂层台面的另一侧上,该多量子阱发光层为10个周期交替生长的氮化镓/铟镓氮;一P型掺杂层,其制作在多量子阱发光层上;一ITO层,其制作在P型掺杂层上;一P型金属电极,其制作在ITO层上;一N型金属电极,其制作在掺杂层的台面上。本发明可以提高出光效率,使得发光二极管外量子效率提升,特别适合大尺寸功率型晶粒的制作。 | ||
搜索关键词: | 侧面 发光二极管 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
一种侧面粗化的发光二极管,包括:一衬底,该衬底的侧面经粗化处理,粗化处理后的衬底侧面为三角形、菱形、圆形或多边形;一成核层,其制作在侧面粗化的衬底上;一N型掺杂层,其制作在成核层上,该N型掺杂层有一台面;一多量子阱发光层,其制作在N型掺杂层台面的另一侧上,该多量子阱发光层为10个周期交替生长的氮化镓/铟镓氮;一P型掺杂层,其制作在多量子阱发光层上;一ITO层,其制作在P型掺杂层上;一P型金属电极,其制作在ITO层上;一N型金属电极,其制作在掺杂层的台面上。
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