[发明专利]光偏转器的驱动器及其设定方法

摘要

本发明提供了光偏转器的驱动器及其设定方法。光偏转器包括：反射镜；可动框，其用于支承反射镜；支承体，其包围可动框；以及用作悬臂的第一组压电致动器和用作悬臂的与第一组压电致动器交替的第二组压电致动器。在该光偏转器中，压电致动器在每个致动器处折返并且从支承体连接到可动框。每个压电致动器都与反射镜的一个轴平行。驱动器生成具有第一锯齿波的第一驱动电压并将第一驱动电压施加到第一组压电致动器。驱动器生成具有与第一锯齿波相位相反的第二锯齿波的第二驱动电压并将第二驱动电压施加到第二组压电致动器。第一锯齿波和第二锯齿波之间的相位差为预定值，以抑制取决于压电致动器的、反射镜关于其轴的机械振动系统的固有频率。

主权项

一种用于驱动光偏转器的驱动器，所述光偏转器包括：反射镜；可动框，其用于支承所述反射镜；支承体，其包围所述可动框；以及用作悬臂的第一组压电致动器和用作悬臂的与第一组压电致动器交替的第二组压电致动器，所述压电致动器在每个致动器处折返并且从所述支承体连接到所述可动框，每个所述压电致动器都与所述反射镜的一个轴平行，所述驱动器生成具有第一锯齿波的第一驱动电压并将所述第一驱动电压施加到所述第一组压电致动器，所述驱动器生成具有与所述第一锯齿波相位相反的第二锯齿波的第二驱动电压并将所述第二驱动电压施加到所述第二组压电致动器，所述第一锯齿波与所述第二锯齿波之间的相位差为预定值，以抑制取决于所述压电致动器的、所述反射镜关于它的所述轴的机械振动系统的固有频率。