[发明专利]对柔性衬底的扩散阻挡层修饰无效
| 申请号： | 201210054338.6 | 申请日： | 2012-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN103290376A | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 孙玉娣;张建柱;彭博;马格林 | 申请（专利权）人： | 任丘市永基光电太阳能有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/16;H01L31/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 062550 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种柔性CIGS薄膜太阳电池中，对柔性衬底添加阻挡层的修饰方法。不锈钢是柔性CIGS薄膜太阳电池衬底的首选材料。但是衬底中的元素如Fe、Cu元素的扩散，会降低电池的质量。因此，探寻合适的扩散阻挡层材料及其低成本制备工艺，对于提高器件效率和降低生产成本有重要意义。在不锈钢衬底上采用直流磁控溅射工艺沉积一层1-2μm的铬扩散阻挡层，能显著提高衬底上生长的背电极层及CIGS吸收层薄膜的结晶质量。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性 衬底 扩散 阻挡 修饰 | ||
【主权项】：
一种柔性CIGS薄膜太阳电池中，对柔性衬底添加铬阻挡层的修饰方法，是在柔性衬底上采用直流磁控溅射工艺沉积一层扩散阻挡层，其特征在于：所述柔性衬底为不锈钢衬底；所述阻挡层为铬层。
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