[发明专利]一种合金元素成分可控的铂族金属合金涂层及其制备方法

摘要

本发明涉及一种在难熔金属材料表面制备铂族金属合金涂层方法，涂层中以铱或铂为主要成分，锆、铪、钽、铌、铝为合金元素，合金元素的氧化物为增强成分。涂层的制备方法是，取铂族金属丝及合金金属丝若干，均匀穿过氧化铝陶瓷并固定，以此组成合金靶材。将靶材与工件放置在真空室中，靶材的一端面对工件，另一端接电源，铂族金属丝并联接一组电源，合金元素丝按分布设计可接2-5组电源。采用双辉等离子方法，在真空炉中沉积合金涂层，沉积过程中，可以给合金元素部分断电，断电后也可以再供电，断电后，所连接的合金丝处于不工作状态，不会溅射出合金原子或离子，从而可调整涂层中合金元素的含量。

主权项

一种在难熔材料表面的合金元素成分可控的铂族金属合金涂层，其特征在于涂层主体元素为铂或铱，合金元素为锆、铪、钽、铝等但不限于这四种合金元素，以及合金元素的氧化物如ZrO2、HfO2、Ta2O5、Al2O3但不限于这四种氧化物增强成分。