[发明专利]一种方形基板预对准装置及方法有效
| 申请号： | 201210055988.2 | 申请日： | 2012-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN103293867A | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 贾翔 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00;H01L21/68 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种方形基板预对准装置及方法。方形基板预对准装置，用于对基板传输中机械手上片误差(基板的偏心，偏向)的测量，这个测量的过程称为预对准，主要用到装置包括机械手、工件台、第一探测器、第二探测器和控制器。其中，工件台承载上述方形基板，第一探测器扫描方形基板的第一边缘，并计算第一边缘的偏向值；第二探测器扫描方形基板的第二边缘，第二边缘垂直于第一边缘，并计算第二边缘的偏向值；控制器根据第一边缘的偏向值和第二边缘的偏向值控制并驱动工件台。本发明的方形基板预对准装置和方法不会破坏方形基板，节省时间并提高经济效率。而且由于采用边扫面的方式，采样点多，并更接近实际边的状态，从而提高了测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 方形 基板预 对准 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种方形基板预对准装置，用于对搬运到曝光装置的方形基板进行预对准，特征在于，包括：工件台，承载上述方形基板第一探测器，扫描上述方形基板的第一边缘，并计算第一边缘的偏向值；第二探测器，扫描上述方形基板的第二边缘，第二边缘垂直于第一边缘，并计算第二边的偏向值；以及控制器，根据第一边的偏向值和第二边的偏向值控制并驱动上述工件台。
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