[发明专利]一种回收图形化蓝宝石衬底的方法有效
| 申请号： | 201210056756.9 | 申请日： | 2012-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN102593285A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 张建宝;刘秋艳;刘榕;兰叶;周武 | 申请（专利权）人： | 华灿光电股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 滕一斌 |
| 地址： | 430223 *** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种回收图形化蓝宝石衬底的方法，属于光电技术领域。所述方法包括：采用感应耦合等离子体干法刻蚀去除所述图形化蓝宝石衬底上的外延层；采用湿法腐蚀对去除所述外延层后的所述图形化蓝宝石衬底进行腐蚀。本发明实施例通过ICP干法刻蚀去除PSS上的外延层，然后通过湿法腐蚀去除干法刻蚀导致的刻蚀损伤和脏污等缺陷，从而得到可以重新利用的PSS，极大的提高了PSS的利用率，进而降低了LED的生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 回收 图形 蓝宝石 衬底 方法 | ||
【主权项】：
一种回收图形化蓝宝石衬底的方法，其特征在于，所述方法包括：采用感应耦合等离子体干法刻蚀去除所述图形化蓝宝石衬底上的外延层；采用湿法腐蚀对去除所述外延层后的所述图形化蓝宝石衬底进行腐蚀。
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