[发明专利]一种易脱模的热解氮化硼坩埚的制备方法

摘要

本发明涉及一种易脱模的热解氮化硼坩埚的制备方法，包括采用化学气相沉积工艺，在基体模具上沉积热解氮化硼涂层，于1750～1850℃在基体模具上先沉积0.05～0.1mm的热解氮化硼预涂层，然后升温到1800～2000℃，再在热解氮化硼预涂层上按现有技术反应沉积热解氮化硼材料，形成热解氮化硼坩埚。本发明方法得到的PBN坩埚容易脱模，石墨模具易清理；脱模后用压缩空气吹扫使坩埚内壁的PBN预涂层脱落，所得PBN坩埚的内壁洁净光滑，无需再打磨，避免了打磨对PBN坩埚内壁的损伤，节约了时间和人力。

主权项

一种易脱模的热解氮化硼坩埚的制备方法，包括采用化学气相沉积工艺，以氮气作为保护稀释气体，以氨气和气态BCl3为反应气体，在基体模具上沉积热解氮化硼涂层，其特征在于，于温度1750～1850℃条件下在基体模具上先沉积0.05～0.1mm的热解氮化硼预涂层，并对该预涂层进行保温处理；然后继续升温到1800～2000℃，再在热解氮化硼预涂层上按现有技术反应沉积热解氮化硼材料，形成热解氮化硼坩埚。