[发明专利]运动台定位精度的测量系统及测量方法有效
| 申请号： | 201210062953.1 | 申请日： | 2012-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN103309167A | 公开（公告）日： | 2013-09-18 |
| 发明（设计）人： | 毛方林;李术新;李煜芝 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种运动台定位精度的测量系统及测量方法，所述测量系统包括：运动台控制系统，用于驱动运动台按照一设定路线步进或扫描；第一位置测量系统，用于实时测量运动台的当前位置并反馈至运动台控制系统，从而由运动台控制系统根据所述当前位置驱动运动台步进或扫描至一设定位置；第二位置测量系统，用于当运动台控制系统驱动运动台每次经过所述设定位置时，分别测量运动台位于所述设定位置时的实际位置，计算每次实际位置之间的偏差并与运动台精度指标比较，从而判断运动台定位精度是否达标。所述测量方法可离线测量运动台的定位精度，无需依赖于光刻机其它部件，在光刻机集成中可提前诊断运动台定位问题。 | ||
| 搜索关键词： | 运动 定位 精度 测量 系统 测量方法 | ||
【主权项】：
一种运动台定位精度的测量系统，其特征在于，包括：运动台控制系统，用于驱动运动台沿X方向或Y方向按照一设定路线步进或扫描，所述X方向和Y方向为在水平面上相互正交的两个方向；第一位置测量系统，用于实时测量运动台在X方向和Y方向的当前位置并反馈至运动台控制系统，从而由运动台控制系统根据第一位置测量系统实时反馈的所述当前位置驱动运动台步进或扫描至一设定位置；第二位置测量系统，用于当运动台控制系统驱动运动台每次经过所述设定位置时，分别测量运动台位于所述设定位置时在X方向和Y方向的实际位置，计算每次实际位置之间的偏差并与运动台精度指标比较，从而判断运动台定位精度是否达标。
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