[发明专利]用于轨道平顺性检测的二维锁相测量装置

摘要

本发明属于光学测量领域，涉及一种用于轨道平顺性检测的二维锁相测量装置。该装置由双频激光光源部分，参考光路部分，横向不平顺测量光路部分以及垂向不平顺测量光路部分组成。从双频激光光源部分出射的两束具有一定频差的正交线偏振光，经分束镜，一部分进入参考光路，另一部分经准直扩束及分光后，分别进入横向不平顺测量光路和垂向不平顺测量光路，两测量光路所得的测量信号分别与参考信号比相。由于两测量光路共用同一光源，外差干涉测量时采用了同一参考信号，消除了轨道的横向不平顺和垂向不平顺测量之间的系统误差，同时实现了轨道平顺性的二维测量，减小体积，降低成本。

主权项

用于轨道平顺性检测的二维锁相测量装置，其特征在于：由双频激光光源部分，参考光路部分，横向不平顺测量光路部分以及垂向不平顺测量光路部分组成；其中横向不平顺测量光路包括平面反射镜A1(8)，平面反射镜A2(9)，偏振分光棱镜B(13)，1/4波片B1(14)，1/4波片B2(15)，转台B1(16)，平面反射镜B1(17)，传动带B(18)，50％分光棱镜B(19)，转台B2(20)，平面反射镜B2(21)，会聚透镜组B(12)，检偏器B(11)，探测器B(10)；垂向不平顺测量光路包括偏振分光棱镜C(30)，1/4波片C1(24)，1/4波片C2(26)，平面反射镜C1(22)，平面反射镜C2(29)，转台C1(23)，转台C2(28)，传动带C(27)，50％分光棱镜C(25)，会聚透镜组C(31)，检偏器C(32)，探测器C(33)。