[发明专利]化学混浴沉积系统及其化学混浴沉积方法

摘要

本发明公开了一种化学混浴沉积系统，用以在具有光电转换层的背电极基板上形成缓冲层及氧化锌窗口层，包括分别用来存放缓冲层化学溶液及窗口层化学溶液的第一及第二混浴槽。背电极基板浸泡于缓冲层化学溶液中以反应生成缓冲层在光电转换层上。背电极基板浸泡于窗口层化学溶液中以反应生成氧化锌窗口层在缓冲层上。第一与第二混浴槽为一连续式配置。本发明使用将背电极基板依序浸泡于第一混浴槽及第二混浴槽中以分别形成缓冲层及氧化锌窗口层在光电转换层上的方式，以降低太阳能电池在形成缓冲层与氧化锌窗口层上所需耗费的成本及制程时间。

主权项

一种化学混浴沉积系统，其特征在于，所述化学混浴沉积系统用以在具有一光电转换层的至少一背电极基板上形成一缓冲层及一氧化锌窗口层，所述化学混浴沉积系统包括：一第一混浴槽，用来存放一缓冲层化学溶液，当所述背电极基板进入所述第一混浴槽以浸泡于所述缓冲层化学溶液中时，所述缓冲层化学溶液反应生成所述缓冲层在所述光电转换层上；及一第二混浴槽，用来存放一窗口层化学溶液，当所述背电极基板进入所述第二混浴槽以浸泡于所述窗口层化学溶液中时，所述窗口层化学溶液反应生成所述氧化锌窗口层在所述缓冲层上，所述第一混浴槽与所述第二混浴槽为一连续式配置。