[发明专利]一种预防Cascade探针台显微镜撞针的方法无效
| 申请号： | 201210066516.7 | 申请日： | 2012-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN102637340A | 公开（公告）日： | 2012-08-15 |
| 发明（设计）人： | 赵敏;尹彬锋;李瀚超 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G08B21/00 | 分类号： | G08B21/00 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 王敏杰 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种预防Cascade探针台显微镜撞针的方法。本发明提出一种预防Cascade探针台显微镜撞针的方法，横梁上设置距离传感器，当显微镜镜筒过度靠近时通过警告装置发送警告信号，以提醒显微镜操作者停止显微镜靠近探针的动作，以避免因显微镜下降过度，造成显微镜的物镜撞到针座的横梁，从而造成横梁部分变形或被压断。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 预防 cascade 探针 显微镜 撞针 方法 | ||
【主权项】：
一种预防Cascade探针台显微镜撞针的方法，其特征在于，在Cascade探针台靠近探针的横梁上设置传感器，以在显微镜镜筒过度靠近时发出警告。
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