[发明专利]一种采用AFM探针纳米刻划加工毫米尺寸微纳结构的方法

摘要

一种采用AFM探针纳米刻划加工毫米尺寸微纳结构的方法。本发明属于毫米尺寸微纳结构加工领域。该方法能够在较低成本下解决毫米尺寸、纳米精度微纳结构的加工问题。方法一：首先将待加工样品置于X-Y二维精密工作台上，通过AFM系统的逼近过程使AFM探针以小于1μN的垂直载荷接触待加工样品的表面；加工纳米线振列结构，设定加工长度、加工宽度、加工间距、加工方向、垂直载荷及加工速度的参数值。方法二与一不同的是：加工由多个相同微结构组合而成的阵列微结构；首先设定加工参数，加工时，由扫描陶管带动AFM探针运动，从而实现方形、圆形或等边三角形阵列微结构的加工。本发明采用AFM探针纳米刻划加工待加工样品的毫米尺寸微纳结构。

主权项

一种采用AFM探针纳米刻划加工毫米尺寸微纳结构的方法，其特征是：所述的方法由下述步骤实现：步骤一：首先将待加工样品置于X‑Y二维精密工作台上，通过X‑Y二维精密工作台在长×宽=100mm×100mm范围内确定待加工样品要加工结构的起始点；然后通过AFM系统的逼近过程使AFM探针以小于1μN的垂直载荷接触待加工样品的表面；步骤二：加工纳米线振列结构；首先设定AFM的扫描范围为0μm，其次设定加工长度、加工宽度、加工间距、加工方向、垂直载荷及加工速度的参数值，上述所述的各参数值分别如下：加工长度L为1mm‑50mm、加工宽度B为1mm‑50mm、加工间距W为0.2μm‑100μm、加工方向为垂直于AFM系统微悬臂长轴方向、垂直载荷为5μN‑150μN、加工速度为10μm/s‑100μm/s；然后，使用步骤一所述的X‑Y二维精密工作台按照上述所述的各参数设定值进行加工，AFM探针的运动轨迹为蛇形，当加工的范围达到预定设置的范围后停止加工。