[发明专利]压力传感器用膜片和压力传感器无效
| 申请号： | 201210067050.2 | 申请日： | 2009-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN102589786A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 本山久雄 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01L7/08 | 分类号： | G01L7/08;G01L9/00;G01L13/02 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 黄纶伟;马建军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供压力传感器用膜片和压力传感器，提供抑制了对熔接后的受压面造成的残留应力并改善了经年劣化的压力传感器用膜片和搭载了该膜片的压力传感器。压力传感器(10)用膜片(32)呈同心圆状一体地具有中央部(膜片主体)(40)和周缘部(凸缘)(44)，该中央部(40)的外表面受到外部压力而变形，内表面向外壳(12)内部的感压元件(38)传递力，该周缘部(44)在所述中央部(膜片主体)(40)的外侧，与形成在外壳(12)上的接头(22)的外周熔接，所述压力传感器(10)用膜片(32)封闭所述接头(22)，设置有在所述中央部(膜片主体)(40)和所述周缘部(凸缘)(44)之间形成阶梯的缓冲部(42)。 | ||
| 搜索关键词： | 压力 传感 器用 膜片 压力传感器 | ||
【主权项】：
一种压力传感器用膜片，该压力传感器用膜片呈同心圆状一体地具有中央部和周缘部，该中央部的外表面受到外部压力而变形，内表面形成向外壳内部的感压元件传递力的膜片主体，该周缘部在所述中央部的外侧，与形成在外壳上的压力输入口的外周熔接，所述压力传感器用膜片封闭所述压力输入口，其特征在于，在所述中央部和所述周缘部之间形成有阶梯壁。
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