[发明专利]旋转阴极机构无效
| 申请号： | 201210067554.4 | 申请日： | 2012-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN102560386A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 朱殿荣;曹俊 | 申请（专利权）人： | 无锡康力电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人： | 夏平 |
| 地址： | 214253 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种旋转阴极机构，它包括靶旋转机构（4）、靶支架（3）、冷却水管（8）和依次安装在冷却水管（8）外侧的极靴（7）、多个条形磁铁（6）、靶材（5），上述套管的一侧装有一端盖（9），另一端安装靶旋转机构（4）和靶支架（3），所述的条形磁铁（6）和靶材（5）之间套装不锈钢管。本发明为一种新型机构，通过在溅射过程中旋转靶材，使得靶材在整区域的消耗能够均匀的进行刻蚀，将靶材一次利用率提高到≥80%以上；同时可以有效减少打弧和靶面掉渣，工艺稳定性好。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转 阴极 机构 | ||
【主权项】：
一种旋转阴极机构，其特征是它包括靶旋转机构（4）、靶支架（3）、冷却水管（8）和依次安装在冷却水管（8）外侧的极靴（7）、多个条形磁铁（6）、靶材（5），上述套管的一侧装有一端盖（9），另一端安装靶旋转机构（4）和靶支架（3），所述的条形磁铁（6）和靶材（5）之间套装不锈钢管。
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