[发明专利]真空镀膜用布气系统无效
| 申请号： | 201210067836.4 | 申请日： | 2012-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN102586739A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 朱殿荣;曹俊 | 申请（专利权）人： | 无锡康力电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C16/455 |
| 代理公司： | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人： | 夏平 |
| 地址： | 214253 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种真空镀膜用布气系统，它包括套装的第一布气管、第二布气管和隔片，所述的第一布气管上设有多个第一出气孔，第二布气管上，平行于真空镀膜靶面的一侧设有多个第二出气孔，第一布气管和第二布气管的两端封闭，第一布气管的一侧为进气孔，隔片横向或斜向设置在第二布气管内，使得第二布气管形成两腔体，隔片的两端与第二布气管有一定缝隙，第一布气管安装在第二布气管内背向真空镀膜靶面的腔体内。本发明通过二次布气，达到了布气的均匀性，在使用过程中，通过对镀膜均匀性的检测，取得了良好的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 用布气 系统 | ||
【主权项】：
一种真空镀膜用布气系统，其特征是它包括套装的第一布气管（1）、第二布气管（2）和隔片（3），所述的第一布气管（1）上设有多个第一出气孔（4），第二布气管（2）上，平行于真空镀膜靶面的一侧设有多个第二出气孔（5），第一布气管（1）和第二布气管（2）的两端封闭，第一布气管（1）的一侧为进气孔（6），隔片（3）横向或斜向设置在第二布气管（2）内，使得第二布气管（2）形成两腔体，隔片（3）的两端与第二布气管（2）有一定缝隙，第一布气管（1）安装在第二布气管（2）内背向真空镀膜靶面的腔体内。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡康力电子有限公司，未经无锡康力电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210067836.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种电动葫芦线
- 下一篇：高强度高疲劳寿命重载卡车用车轮钢及其处理工艺
- 同类专利
- 专利分类
