[发明专利]半导体测试夹具有效
| 申请号： | 201210068143.7 | 申请日： | 2012-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN102798738A | 公开（公告）日： | 2012-11-28 |
| 发明（设计）人： | 鹿口直斗;池上雅明 | 申请（专利权）人： | 三菱电机株式会社 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 闫小龙;王忠忠 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种在测试时能够防止在半导体的终端部的放电的半导体测试夹具。本发明的半导体测试夹具的特征在于，具备：台座（1），配设有探针（3）和以在平面视图中包围探针（3）的方式设置的绝缘物（2）；载物台（6），与台座（1）的配设有探针（3）以及绝缘物（2）的一侧的面对置地配置并且能够在台座（1）侧的面上载置被检体（4），在载物台（6）载置被检体（4）并且台座（1）和载物台（6）向接近的方向移动时，探针（3）与形成于被检体（4）的电极接触，并且，绝缘物（2）接触到被检体（4）。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 测试 夹具 | ||
【主权项】：
一种半导体测试夹具，其特征在于，具备：夹具台座（1），配设有探针（3）和以在平面视图中包围所述探针（3）的方式设置的绝缘物（2）；以及载物台（6），与所述夹具台座（1）的配设有所述探针（3）以及所述绝缘物（2）的一侧的面对置地配置并且能够在所述夹具台座（1）侧的面上载置被检体（4），在所述载物台（6）载置所述被检体（4）并且所述夹具台座（1）和所述载物台（6）向接近的方向移动时，所述探针（3）与形成于所述被检体（4）的电极接触，并且，所述绝缘物（2）接触到所述被检体（4）。
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