[发明专利]一种防串扰的柔性透明存储阵列及其制备方法

摘要

本发明公开了一种防串扰的柔性透明存储阵列及其制备方法。本发明采用透明的选择管作为驱动管，选择管的双向导通的特性实现了电路对存储单元的重复擦除与写入，并解决了串扰问题。选择管作为存储阵列的驱动管，解决了晶体管占用面积大、二极管单极性操作的限制，可以适应器件按比例缩小的进程，而且，选择管的制备工艺简单，节省成本。本发明的材料均采用柔性透明的材料，柔性透明存储阵列把“柔性透明电子系统”、“驱动管”以及“阻变存储器”三者结合在一起，它除了具有阻变存储器本身的特性外，还具备柔性、透明等优点，尤其是解决了存储器在集成阵列中串扰的问题，制备的存储阵列可广泛应用在电子纸张、柔性透明显示及其他相关电子系统中。

主权项

一种柔性透明存储阵列，其特征在于，所述存储阵列包括：柔性透明的衬底(1)；形成在衬底上的m个条状的底电极(2)；形成在底电极上的功能层(3)；形成在功能层上的电极层(4)；底电极、功能层和电极层构成透明的选择管；形成在电极层上的阻变存储层(5)；形成在阻变存储层上并与底电极相交叉的n个条状的顶电极(6)；穿透阻变存储层、电极层和功能层并与底电极相连的引出电极(7)；在引出电极和阻变存储层和电极层的侧壁之间的隔离侧墙(8)；电极层、阻变存储层和顶电极构成透明的阻变存储器，上述结构均采用透明的材料，m个条状的底电极与n个条状的顶电极相交的部分形成m*n的存储阵列，其中，m和n为自然数。