[发明专利]一种真空吸持装置及真空吸持方法

摘要

本发明公开了一种真空吸持装置，真空吸持装置包括监测单元、各自独立的第一真空回路和第二真空回路，第一真空回路包括依次连接的第一真空吸嘴、第一真空管以及第一真空源，第二真空回路包括依次连接的第二真空吸嘴、第二真空管以及第二真空源，第一真空吸嘴和第二真空吸嘴共同形成吸持区，监测单元用于监测第一真空回路和第二真空回路的工作状态，当监测到第一真空回路和第二真空回路中至少一个真空回路工作正常时，使吸持操作继续进行，否则使吸持操作停止进行。本发明还公开了一种真空吸持方法。本发明通过设置双真空回路进行协同吸持操作，能够降低停机维护的概率，缩短停机维护时间，大幅提高生产效率。

主权项

一种应用于平板显示装置制造的真空吸持装置，其特征在于：所述真空吸持装置包括监测单元、各自独立的第一真空回路和第二真空回路；所述第一真空回路包括依次连接的第一真空吸嘴、第一真空管以及第一真空源；所述第二真空回路包括依次连接的第二真空吸嘴、第二真空管以及第二真空源；所述第一真空吸嘴和第二真空吸嘴共同形成吸持区，所述监测单元用于监测第一真空回路和第二真空回路的工作状态；其中，当所述监测单元监测到第一真空回路和第二真空回路中至少一个真空回路工作正常时，使吸持操作继续进行；当所述监测单元监测到第一真空回路和第二真空回路均工作不正常时，使吸持操作停止进行。