[发明专利]镀敷设备和镀敷方法

摘要

一种在确保可以方便地触碰基板保持器，和当基板正在镀敷设备中被处理时使基板保持器能够被方便地维护的镀敷设备。镀敷设备包括用于对基板镀敷的镀敷部、用于保持基板的基板保持器、用于保持和运送基板保持器的基板保持器运送器、用于存储基板保持器的贮藏部和用于将贮藏部存放在其中的贮藏部安装部分。贮藏部安装部分包括用于移动贮藏部进入和离开贮藏部安装部分的移动机构。

主权项

一种镀敷设备，其特征在于，所述镀敷设备包括：镀敷部，所述镀敷部用于镀敷基板；基板保持器，所述基板保持器用于保持所述基板；基板保持器运送器，所述基板保持器运送器用于保持和运送所述基板保持器；贮藏部，所述贮藏部用于存储所述基板保持器；和贮藏部安装部分，所述贮藏部安装部分用于将所述贮藏部存储在所述贮藏部安装部分中；其中，所述贮藏部包括移动机构，所述移动机构用于将所述贮藏部移入所述贮藏部安装部分和从所述贮藏部安装部分移出所述贮藏部。