[发明专利]氯硅烷取样系统无效
| 申请号： | 201210070326.2 | 申请日： | 2012-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN102589924A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 王恒孝;胡小冬;王岭;刘建锋;黎展荣;蒲晓东;唐猷成 | 申请（专利权）人： | 四川新光硅业科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N1/02 | 分类号： | G01N1/02 |
| 代理公司： | 四川力久律师事务所 51221 | 代理人： | 刘雪莲;林辉轮 |
| 地址： | 614000*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及氯硅烷取样系统，包括取样器主体、样品输入装置、样品输出装置，所述取样器主体包括取样瓶、压盖、取样器输入口和取样器输出口，样品输入装置通过管线、进口二位三通阀与取样器输入口连通；样品输出装置通过管线、出口二位三通阀与取样器输出口连通，进口二位三通阀与样品输入装置之间还通过管线Ⅰ连接有保护气体输入装置，出口二位三通阀与样品输出装置之间还通过管线Ⅱ连接有保护气体输出装置；进口二位三通阀和出口二位三通阀之间还连接有取样瓶旁路管道。本发明氯硅烷取样系统取样安全，降低了对样品成分和/或含量的影响；解决了生产多晶硅过程中氯硅烷取样长期存在的安全隐患，使多晶硅生产安全、稳定和高效地运行。 | ||
| 搜索关键词： | 硅烷 取样 系统 | ||
【主权项】：
氯硅烷取样系统，包括取样器主体（1）、样品输入装置、样品输出装置，所述取样器主体包括取样瓶（101）、压盖（104）、取样器输入口（102）和取样器输出口（103），所述样品输入装置通过管线、进口二位三通阀（2）与取样器输入口（102）连通；所述样品输出装置通过管线、出口二位三通阀（3）与取样器输出口连通，其特征在于：所述进口二位三通阀（2）与样品输入装置之间还通过管线Ⅰ（11）连接有保护气体输入装置，所述出口二位三通阀（3）与样品输出装置之间还通过管线Ⅱ（12）连接有保护气体输出装置；所述进口二位三通阀（2）和所述出口二位三通阀（3）之间还连接有取样瓶旁路管道（8）。
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