[发明专利]振动换能器

摘要

本发明提供了一种振动换能器。振动梁与衬底平行且彼此平行地布置在衬底上，并且布置在由壳体和衬底形成的真空室中。每个振动梁均具有与衬底表面垂直的方向上的截面厚度大于与衬底表面平行的方向上的截面厚度的截面形状。第一电极板布置成与衬底表面平行，并且连接至每个振动梁的一端。第二电极板布置成与衬底表面平行，并且处于振动梁之间。第三和第四电极板布置在振动梁的相对侧。粗糙部布置在振动梁和第二、第三及第四电极板的相对侧壁部分表面中。

主权项

一种振动换能器，包括：硅单晶衬底；振动梁，其布置在硅单晶衬底上；由硅材料制成的壳体，其包围振动梁以在振动梁周围保持间隙，并且与衬底一起形成真空室；激励模块，其用于激励振动梁；以及振动检测模块，其用于检测振动梁的振动；其中，振动梁包括布置在真空室中的第一硅单晶振动梁和第二硅单晶振动梁，第一硅单晶振动梁和第二硅单晶振动梁中的每一个都具有其中与衬底表面垂直的方向上的截面厚度大于与衬底表面平行的方向上的截面厚度的截面形状，并且第一硅单晶振动梁和第二硅单晶振动梁布置成与衬底平行并且彼此平行，并且其中，振动换能器进一步包括：板状第一电极板，其布置成与衬底表面平行并且与第一振动梁和第二振动梁中的每一个的一端相连；第二电极板，其布置成与衬底表面平行且处于第一振动梁和第二振动梁之间；板状第三电极板和板状第四电极板，其布置在第一振动梁和第二振动梁的相对侧，第一振动梁和第二振动梁置于板状第三电极板和板状第四电极板之间，所述板状第三电极板和板状第四电极板与第一第二振动梁以及第一电极板和第二电极板共同形成与衬底表面平行的一个平面；以及粗糙部，其布置在各振动梁和第二电极板、第三电极板及第四电极板的相对侧壁部分表面中，用于防止振动梁附着至第二电极板、第三电极板及第四电极板。