[发明专利]一种HDI板激光钻孔偏移检查方法无效
| 申请号： | 201210073889.7 | 申请日： | 2012-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN102607368A | 公开（公告）日： | 2012-07-25 |
| 发明（设计）人： | 陈雨兰;王晓萍 | 申请（专利权）人： | 昆山鼎鑫电子有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/02 | 分类号： | G01B5/02 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 孙仿卫;赵艳 |
| 地址： | 215316 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种HDI板激光钻孔偏移检查方法，包括：在激光开窗层上标记多个激光开窗层对位图形，其边长或直径依次增大；在内层上多个标记内层对位图形，其边长或直径相等，并且内层对位图形与边长或直径最小的激光开窗层对位图形相同；当内层对位图形位于激光开窗层对位图形正中心时，则偏移量为0；当内层对位图形与激光开窗层对位图形相交时，则偏移量超出内层对位图形与激光开窗层对位图形标记的设定值；当内层对位图形与激光开窗层对位图形相切时，则偏移量等于内层对位图形与激光开窗层对位图形的边长或直径之差加制程蚀刻量之总和。本发明可目视确认层偏，且能监控每片板子孔偏的质量，节约作业时间，提升质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 hdi 激光 钻孔 偏移 检查 方法 | ||
【主权项】：
一种HDI板激光钻孔偏移检查方法，该方法用于检查HDI板上盲孔在激光开窗层与内层图形的偏移量，其特征在于：包括以下步骤：（1）、在激光开窗层上标记激光开窗层对位图形，所述的激光开窗层对位图形标记有多个，多个所述的激光开窗层对位图形的边长或直径依次增大；（2）、在内层上标记内层对位图形：所述的内层对位图形标记有多个，多个所述的内层对位图形的边长或直径相等，并且所述的内层对位图形与边长或直径最小的激光开窗层对位图形相同；（3）、当目视HDI板上盲孔偏移量时，可从所述的激光开窗层对位图形与内层对位图形两者的偏移量得知：当所述的内层对位图形位于所述的激光开窗层对位图形正中心时，则偏移量为0；当所述的内层对位图形与激光开窗层对位图形相交时，则偏移量超出所述的内层对位图形与激光开窗层对位图形标记的设定值；当所述的内层对位图形与激光开窗层对位图形相切时，则偏移量等于所述的内层对位图形与激光开窗层对位图形的边长或直径之差加制程蚀刻量之总和。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昆山鼎鑫电子有限公司，未经昆山鼎鑫电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210073889.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种掺杂改性尖晶石型锰酸锂正极材料的制备方法
- 下一篇：柔性超声波浸胶装置
