[发明专利]平台台面的平面度测量装置及测量方法无效
| 申请号： | 201210073950.8 | 申请日： | 2012-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN102706315A | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 穆永俊;高云峰 | 申请（专利权）人： | 深圳市大族激光科技股份有限公司;深圳市大族数控科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/30 | 分类号： | G01B21/30 |
| 代理公司： | 广东国晖律师事务所 44266 | 代理人： | 陈琳 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提出一种平台台面的平面度测量装置与测量方法，包括XY二维运动平台系统、Z轴运动系统和Z轴加工头，Z轴加工头上设置有一套测量头，该测量头包括测量杆、固定座和感应器，感应器固定于固定座上，测量杆设置于固定座中并可上下移动。主要方法为Z轴运动系统带动测量头向下移动，测量杆接触平台台面某一测量点后，与感应器发生相对运动，最终触发感应器，控制系统读取此时Z轴伺服电机编码器位置信号，如此反复，记录多点的位置信号，如此即可计算出台面各点的高度差，最终计算出平面度。该测量装置简单、成本低，方法快速、易操作。 | ||
| 搜索关键词： | 平台 台面 平面 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
一种平台台面的平面度测量装置，包括XY二维运动平台系统、Z轴运动系统和Z轴加工头，其特征在于：所述的Z轴加工头上设置有一套测量头，该测量头包括测量杆、固定座和感应器，感应器固定于固定座上，测量杆设置于固定座中并可自由上下移动。
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