[发明专利]用于掠入射XAFS方法的样品台无效
申请号: | 201210074161.6 | 申请日: | 2012-03-20 |
公开(公告)号: | CN102636508A | 公开(公告)日: | 2012-08-15 |
发明(设计)人: | 魏向军;李丽娜;于海生;黄宇营;姜政;高倩 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海应用物理研究所 |
主分类号: | G01N23/223 | 分类号: | G01N23/223 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人: | 邓琪 |
地址: | 201800 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供一种用于掠入射XAFS方法的样品台,包括由上至下依次连接的样品支架、第一角位台、第二角位台、旋转台、升降台和平移台,所述旋转台和平移台分别由与一控制系统相连的电机控制,所述旋转台和所述平移台上分别设有与所述控制系统相连的光栅尺。本发明用于掠入射XAFS方法的样品台,对样品的旋转角度和平移位置实现闭环控制,进而精确调整X射线的穿透深度,提高了表面及薄膜样品掠入射XAFS谱的采集信噪比。 | ||
搜索关键词: | 用于 入射 xafs 方法 样品 | ||
【主权项】:
一种用于掠入射XAFS方法的样品台,包括由上至下依次连接的样品支架、第一角位台、第二角位台、旋转台、升降台和平移台,所述旋转台和平移台分别由与一控制系统相连的电机控制,其特征在于,所述旋转台和所述平移台上分别设有与所述控制系统相连的光栅尺。
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