[发明专利]一种晶体生长时下轴对坩埚的柔性降温结构有效

专利信息
申请号: 201210074340.X 申请日: 2012-03-12
公开(公告)号: CN103305901A 公开(公告)日: 2013-09-18
发明(设计)人: 刘朝轩;王晨光 申请(专利权)人: 洛阳金诺机械工程有限公司
主分类号: C30B11/00 分类号: C30B11/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 471009 河南省*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 一种晶体生长时下轴对坩埚的柔性降温结构,涉及一种晶体材料的生长设备,包括下轴(12)、管路(13)和附加管(19),在下轴(12)的内壁或外壁设有附加管(19),所述附加管(19)与下轴(12)的内壁或外壁之间具有间隙(20);管路(13)间隔设置在下轴(12)内附加管(19)的内孔(21)内或管路(13)间隔设置在附加管(19)包裹的下轴(12)内;本发明通过在下轴的外部或内部添加附加管,由附加管形成对坩埚下部空间的低温影响得到减小,有效地使热能散失问题得到控制,实现了热能温度的最大化利用的目的。
搜索关键词: 一种 晶体生长 时下 坩埚 柔性 降温 结构
【主权项】:
一种晶体生长时下轴对坩埚的柔性降温结构,包括下轴(12)、管路(13)和附加管(19),在下轴(12)的内壁或外壁设有附加管(19),所述附加管(19)与下轴(12)的内壁或外壁之间具有间隙(20);管路(13)间隔设置在下轴(12)内附加管(19)的内孔(21)内或管路(13)间隔设置在附加管(19)包裹的下轴(12)内。
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