[发明专利]基板检测装置及方法有效
| 申请号： | 201210075574.6 | 申请日： | 2012-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN102621149A | 公开（公告）日： | 2012-08-01 |
| 发明（设计）人： | 郑文达 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G02F1/13 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 胡海国 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种基板检测装置及方法，该基板检测装置包括光源、光检测装置，所述光源、光检测装置均设置在基板的同一侧，且所述光源发出的光线的行进方向与基板呈夹角设置，所述光检测装置接收光线的方向与光源发出的光线的行进方向呈夹角设置。本发明通过设置光源及光检测装置的合适位置，使光检测装置可以仅接收到光源经过玻璃屑发生折射的光线，从而可以快速地检测出基板上是否存在玻璃屑。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种基板检测装置，其特征在于，包括光源、光检测装置，所述光源、光检测装置均设置在基板的同一侧，且所述光源发出的光线的行进方向与基板呈夹角设置，所述光检测装置接收光线的方向与光源发出的光线的行进方向呈夹角设置。
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