[发明专利]一种MEMS扫描微镜光谱仪工作电路

摘要

本发明公布一种MEMS（微电子机械系统）扫描微镜光谱仪工作电路。它主要由振荡信号模块，MEMS微镜驱动控制模块，光谱数据采集模块三个模块组成，其中，光谱数据采集模块由前置放大电路、AD转换电路、FIFO存储器、FPGA（或ARM、单片机）控制电路、USB接口电路组成。MEMS微镜驱动控制模块对MEMS扫描微镜采用闭环控制的方式，使MEMS扫描微镜等幅、等频振动，提高了MEMS扫描微镜光谱仪的波长重复性；振荡电路模块产生的周期性振荡信号，经MEMS微镜驱动控制模块进行处理后，为AD转换电路与MEMS扫描微镜同时提供周期性工作信号，使AD转换电路和MEMS扫描微镜能够协同工作，实现光谱数据的周期性采集。本发明的优点在于可使光谱仪中的MEMS扫描微镜工作振动稳定，光谱仪的波长重复性好，工作电路简单、易于实现。

主权项

一种MEMS扫描微镜光谱仪工作电路，其特征在于；所述工作电路包括振荡信号模块、MEMS微镜驱动控制模块和光谱数据采集模块；其中所述光谱数据采集模块包括探测器的前置放大电路、AD转换电路，FIFO存储器、FPGA控制电路和USB接口电路；所述振荡信号模块的输出端与MEMS微镜驱动控制模块的输入端相连，向所述MEMS微镜驱动控制模块输入具有特定频率的振荡信号，该振荡信号经MEMS微镜驱动控制模块进行信号处理后分为两路，一路为MEMS扫描微镜提供驱动信号，另一路为光谱数据采集模块中的AD转换电路提供周期性触发信号；当所述光谱数据采集模块中的AD转换电路接收到所述MEMS微镜驱动控制模块输出的周期性触发信号后开始工作，把由探测器输出、经前置放大电路放大的模拟光谱信号转换为数字光谱信号，并输送到FIFO存储器中；所述FPGA控制电路控制FIFO存储器中的光谱数据，通过USB接口电路传送给PC机或笔记本电脑，实现光谱数据的采集。