[发明专利]悬臂的振动特性测定方法

摘要

悬臂的频率/振动特性检测需要长时间，由此，存在设定测定条件时产生误差的问题。并且，可能产生一次谐振频率的检测错误。为此，本发明提供一种悬臂的振动特性测定方法，其特征在于，由施振信号发生器在包含悬臂的谐振频率的范围的频带中发生往复的高速扫频信号，使悬臂振动，计测去路和回路各自的振幅最大值的频率，检测其中间值作为悬臂的谐振频率。进而，通过在检测一次谐振频率时确认是否存在6.3倍的二次谐振频率，能够将谐振频率的检测错误防患于未然。

主权项

一种悬臂的振动特性测定方法，其中，扫描型探头显微镜设有：悬臂、使所述悬臂振动的施振部、向所述施振部供给施振信号的施振信号发生器、对所述悬臂的位移进行检测的位移检测器、将从位移检测器输出的表示位移的振幅的交流信号转换为直流的电平信号的交流‑直流转换机构、以及测定与施振频率对应的悬臂位移振幅的频率/振动特性检测机构，在所述扫描型探头显微镜中，由施振信号发生器在包含悬臂的谐振频率的范围的频带中发生往复的扫频信号，由施振部使所述悬臂振动，计测去路和回路各自的振幅最大值的频率，检测其中间值作为悬臂的谐振频率。