[发明专利]一种用于太阳电池制造的制绒方法有效

专利信息
申请号: 201210082970.1 申请日: 2012-03-26
公开(公告)号: CN102634851A 公开(公告)日: 2012-08-15
发明(设计)人: 孙良欣;韦钧瀚 申请(专利权)人: 北京吉阳技术股份有限公司
主分类号: C30B33/10 分类号: C30B33/10;C23F1/40
代理公司: 北京市商泰律师事务所 11255 代理人: 毛燕生
地址: 100012 北*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 一种用于太阳电池制造的制绒方法;含有以下步骤:以异戊醇代替异丙醇的制绒工艺:清洗制绒槽:用纯水反复的清洗槽体冲洗掉槽中的杂质,清洗到中性;提高槽体内温度到75-85摄氏度:制造绒面,形成金字塔;制绒20分钟-25分钟:保证金字塔的生长与形成;使用QDR快排清洗方式清洗:清洗表面残液防止药液残留;经过正常的其他段工艺扩散、PECVD、丝印后观察效率。与传统氢氧化钠、硅酸钠、异丙醇体系相比较,本发明比该体系氢氧化钠初配少200-300g,异戊醇比异丙醇用量少4-7L,传统工艺制绒能持续生产10-20批,本发明可以持续生产35-40批,工艺窗口优于传统工艺。
搜索关键词: 一种 用于 太阳电池 制造 方法
【主权项】:
一种用于太阳电池制造的制绒方法;其特征在于含有以下步骤:制绒时候溶液的组成部分重量配比比例:氢氧化钠500g‑1500g,硅酸钠400g‑850g;乙醇0.5L‑1L;异丙醇1.5L‑2L;甘油1.2L‑3L;异丁醇0.6L‑2L;(1)清洗制绒槽:用纯水反复的清洗槽体冲洗掉槽中的杂质,清洗到中性;(2)按照比例配制槽体溶液;提高槽体内温度到75‑85摄氏度:制造绒面,形成金字塔;(3)制绒20分钟‑25分钟:保证金字塔的生长与形成;(4)使用QDR让槽体中水在6s内排空,利用水的快排冲力清洗杂质的清洗方式清洗:清洗表面残液防止药液残留;(5)经过正常的其他工艺扩散、PECVD等离子体增强化学气相沉积、丝印后观察效率。
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