[发明专利]片状元件夹持装置及其方法有效
申请号: | 201210083183.9 | 申请日: | 2012-03-21 |
公开(公告)号: | CN102623380A | 公开(公告)日: | 2012-08-01 |
发明(设计)人: | 涂嘉旭;洪苑淑;纪怀胜;潘昆志;朱志宏;林仁杰 | 申请(专利权)人: | 景智电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 梁挥;祁建国 |
地址: | 中国台湾桃园县*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明涉及片状元件夹持装置及其方法,片状元件夹持装置主要包含支撑架、第一夹持部及第二夹持部。支撑架具有相对设置的第一支臂及第二支臂,同时提供第一夹持部及第二夹持部旋转时的支撑力。第一夹持部包含成对设置的第一旋转连接部及第一夹持杆;而第一旋转连接部的两端各有一固定块设置于支撑架与第一旋转连接部之间。第二夹持部包含成对设置的第二旋转连接部及第二夹持杆;第二旋转连接部的两端各有一滑动块设置于支撑架与第二旋转连接部之间。第一旋转连接部可与第一夹持杆平行旋转,同时第二旋转连接部可与第二夹持杆平行旋转,且旋转方向与第一夹持部相反。本发明的片状元件夹持装置具有双面同时进行蚀刻的功能。 | ||
搜索关键词: | 片状 元件 夹持 装置 及其 方法 | ||
【主权项】:
一种片状元件夹持装置,其特征在于,包含:一支撑架,具有相对设置的一第一支臂及一第二支臂;一第一夹持部,包含多个第一旋转连接部和多个第一夹持杆,多个第一旋转连接部分别连接该第一支臂及该第二支臂,并成对设置;其中成对的该第一旋转连接部可相对于该支撑架同轴旋转;多个第一夹持杆间隙可调整地并列设置,两端分别连接成对的该第一旋转连接部;其中,成对的该第一旋转连接部可与该些第一夹持杆平行旋转;以及一第二夹持部,相对该第一夹持部间隔设置,包含多个第二旋转连接部和多个第二夹持杆,多个第二旋转连接部分别连接该第一支臂及该第二支臂,并成对设置;其中成对的该第二旋转连接部可相对于该支撑架同轴旋转;多个第二夹持杆间隙可调整地并列设置,两端分别连接成对的该第二旋转连接部;其中,成对的该第二旋转连接部可与该些第二夹持杆平行旋转,且旋转方向与该些第一夹持部相反。
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H01 基本电气元件
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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