[发明专利]一种实现太阳能电池湿法边缘绝缘的方法无效
| 申请号： | 201210084114.X | 申请日： | 2012-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN102623560A | 公开（公告）日： | 2012-08-01 |
| 发明（设计）人： | 曾庆云;梅晓东;冯亚超;郑金彩;刘焕久 | 申请（专利权）人： | 浙江晶科能源有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 | 代理人： | 吴关炳 |
| 地址： | 314416 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种实现太阳能电池湿法边缘绝缘的方法，包括以下步骤：第一步，在氢氟酸槽内加入氢氟酸液使滚轮部分浸入氢氟酸液中，滚轮在转动时其细小凹槽内带有适量的氢氟酸液；将硅片置于滚轮上，通过滚轮转动，利用氢氟酸去除硅片背面及边缘的磷硅玻璃，保留硅片正表面的磷硅玻璃；第二步，去除硅片背面及边缘的磷硅玻璃后，采用上风刀吹干渗到正表面上来的少许氢氟酸液；第三步，进入刻蚀槽，采用氢氟酸与硝酸的混合溶液腐蚀硅片背面及边缘PN结。本发明操作简单，效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 实现 太阳能电池 湿法 边缘 绝缘 方法 | ||
【主权项】：
一种实现太阳能电池湿法边缘绝缘的方法，其特征在于：包括以下步骤：第一步，在氢氟酸槽内加入氢氟酸液使滚轮部分浸入氢氟酸液中，滚轮在转动时其细小凹槽内带有适量的氢氟酸液；将硅片置于滚轮上，通过滚轮转动，利用氢氟酸去除硅片背面及边缘的磷硅玻璃，保留硅片正表面的磷硅玻璃；第二步，去除硅片背面及边缘的磷硅玻璃后，采用上风刀吹干渗到正表面上来的少许氢氟酸液；第三步，进入刻蚀槽，采用氢氟酸与硝酸的混合溶液腐蚀硅片背面及边缘PN结。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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