[发明专利]单片硅麦克风无效
| 申请号： | 201210085250.0 | 申请日： | 2012-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN102665161A | 公开（公告）日： | 2012-09-12 |
| 发明（设计）人： | 王云龙 | 申请（专利权）人： | 美国通用微机电系统公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00 |
| 代理公司： | 无锡市大为专利商标事务所 32104 | 代理人： | 殷红梅 |
| 地址： | 美国加利福尼亚*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及一种单片硅麦克风，一个单片硅麦克风包括一个第一背板，一个第二背板以及位于第一背板和第二背板间的隔板；第一背板由一个带多穿孔的硅基板支撑。第二背板系在一个穿孔板上，穿孔板支撑在硅基板的上方。单片硅麦克风有集成的信号调节电路。信号调节电路与第一背板、第二背板及隔板间电连接。隔板与第一背板、隔板与第二背板间的信号送入信号调节电路中，并分别进行放大。 | ||
| 搜索关键词： | 单片 麦克风 | ||
【主权项】：
一种单片硅麦克风，其特征是：包括一由硅基板支撑的第一背板；一位于穿孔板表面的第二背板；一位于第一背板与第二背板间，并支撑在第一背板上方的隔板；及在所述硅基板上集成的信号调节电路。
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