[发明专利]一种硅烷中杂质的去除方法及用于该方法的设备无效
| 申请号： | 201210086015.5 | 申请日： | 2012-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN103359738A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 胡亚林;丁显波;宋兆德;王宁 | 申请（专利权）人： | 比亚迪股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/04 | 分类号： | C01B33/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518118 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种硅烷中杂质的去除方法，该方法为将硅烷通入热分解管中进行热分解后去除固体杂质；所述热分解的温度为200-500℃，所述热分解管的长度为0.5-3m，硅烷的流量为0.1-5L/min。本发明还提供了一种去除硅烷中杂质所用的设备。本发明的方法除杂效果明显，并且节约能源。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅烷 杂质 去除 方法 用于 设备 | ||
【主权项】：
一种硅烷中杂质的去除方法，其特征在于，该方法为将硅烷通入热分解管中进行热分解后去除固体杂质；所述热分解的温度为200‑500℃，所述热分解管的长度为0.5‑3m，硅烷的流量为0.1‑5L/min。
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