[发明专利]一种校正干涉仪成像系统畸变的方法有效
| 申请号： | 201210086778.X | 申请日： | 2012-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN102607408A | 公开（公告）日： | 2012-07-25 |
| 发明（设计）人： | 闫锋涛;范斌;侯溪;伍凡;万勇建 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 许玉明;贾玉忠 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明是一种校正干涉仪成像系统畸变的方法，此方法基于被测件重叠子区域数据的重叠区域上有明确标记点或者镜面面形信息特征，对干涉仪成像系统畸变进行校正，校正干涉仪成像系统畸变方法的系统包括干涉仪、被测件、调整机构及计算机系统，计算机系统与干涉仪连接，调整机构实现对被测件的调整；通过安装在计算机系统上的干涉仪数据处理软件获得经过调整机构调整的被测件上具有重叠区域的子区域数据，最后将得到的子区域测试数据送入计算机系统进行处理，获得干涉仪成像畸变系数及校正后的面形误差；本发明为高精度面形加工测量提供检测方法，具有较大的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 校正 干涉仪 成像 系统 畸变 方法 | ||
【主权项】：
一种校正干涉仪成像系统畸变的方法，其特征在于：其包括干涉仪(1)、被测件(2)、调整机构(3)及计算机系统(4)，其中计算机系统(4)与干涉仪(1)连接，被测件(2)通过调整机构(3)进行调节，使干涉仪(1)获得被测件(2)上有相互重叠区域的子区域，最后由安装在计算机系统(4)上的数据处理软件对所得到的子区域数据进行处理，获得干涉仪的成像系统畸变系数及降低畸变所带来的测量误差后的面形分布信息，从而校正干涉仪的成像畸变及获得更高精度的面形分布信息。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院光电技术研究所，未经中国科学院光电技术研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210086778.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
