[发明专利]激光成像扫描式光栅位移传感器无效
申请号: | 201210086911.1 | 申请日: | 2012-03-29 |
公开(公告)号: | CN102636122A | 公开(公告)日: | 2012-08-15 |
发明(设计)人: | 杜金昌 | 申请(专利权)人: | 杜金昌 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 610045 四川省成都市武侯区晋*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 激光成像扫描式光栅位移传感器,传感器采用光源为发散角小于0.5°的平行光源,还包括使用反射镜弯折光路压缩光路体积;单光源用部分反射镜、全反射镜分成多束光方式。本发明中主尺、标尺间距可以增加到超出现有安装空间,还具有良好的抗震动性能与免人工调整。 | ||
搜索关键词: | 激光 成像 扫描 光栅 位移 传感器 | ||
【主权项】:
激光成像扫描式光栅位移传感器,该传感器用于测量直线位移;特征在于,传感器采用光源为发散角小于0.5°的平行光源。
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