[发明专利]基于微光学阵列元件的二维位移测量装置有效
| 申请号： | 201210088617.4 | 申请日： | 2012-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN102607428A | 公开（公告）日： | 2012-07-25 |
| 发明（设计）人： | 卢振武;刘华;王尧;孙强 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 陶尊新 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 基于微光学阵列元件的二维位移测量装置，涉及一种基于微光学元件的二维位移测量装置，解决现有二维位移测量中，需要两套独立测量系统，导致体积较大的问题，包括激光器、扩束镜、反射镜、二维参考微光学阵列元件、二维测量微光学阵列元件、聚焦透镜和二维面阵探测器；激光器发出的激光光束经扩束镜和反射镜后平行入射至二维参考微光学阵列元件，在所述二维参考微光学阵列元件的焦平面处会聚成点光源，点光源发出的光束经二维测量微光学阵列元件平行入射至聚焦透镜，经聚焦透镜出射的光束在二维面阵探测器上成像。本发明所述的装置在测量过程中测量准确方便，并减少了装置的体积。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 微光 阵列 元件 二维 位移 测量 装置 | ||
【主权项】：
基于微光学阵列元件的二维位移测量装置，该装置包括激光器(1)、扩束镜(2)、反射镜(3)、二维参考微光学阵列元件(4)、二维测量微光学阵列元件(5)、聚焦透镜(7)和二维面阵探测器(8)；其特征是，激光器(1)发出的激光光束经扩束镜(2)和反射镜(3)后平行入射至二维参考微光学阵列元件(4)，在所述二维参考微光学阵列元件(4)的焦平面处会聚成点光源，点光源发出的光束经二维测量微光学阵列元件(5)平行入射至聚焦透镜(7)，经聚焦透镜(7)出射的光束在二维面阵探测器(8)上成像。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，未经中国科学院长春光学精密机械与物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210088617.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
