[发明专利]喷嘴喷出量的修正方法以及液滴的喷出方法

摘要

本发明提供能够对从喷嘴喷出的液滴的重量偏差进行高精度校正的喷嘴喷出量的修正方法、使用了该方法的液滴的喷出方法、有机EL元件的制造方法。在本应用例的喷嘴喷出量的修正方法中，根据未进行从喷嘴喷出的液滴的重量修正时向喷出区域喷出的全部液滴的重量的合计值A与预先设定的规定量B的差值，阶段性地进行喷嘴列单位的数量的量的修正量计算，以使得修正后的喷嘴列单位的液滴的重量、与向上述喷出区域进行喷出的其他喷嘴列单位的液滴的重量的合计值C成为规定量B。这样的修正可以以喷出单位或者扫描单位为基准进行。

主权项

一种喷嘴喷出量的修正方法，其特征在于，是对喷嘴列的每个喷嘴的致动器选择不同的多个驱动波形信号中的1个来进行供给，对从上述喷嘴向喷出区域喷出的液滴的重量进行修正的喷嘴喷出量的修正方法，包括：第1步骤，根据未对上述每个喷嘴进行上述液滴的重量的修正时向上述喷出区域喷出的全部液滴的重量的合计值A与预先设定的规定量B的差值，以修正后的第1喷嘴列单位或者喷出单位或者扫描单位的上述液滴的重量、与向相同的上述喷出区域喷出的上述第1以外的喷嘴列单位或者喷出单位或者扫描单位的上述液滴的重量的合计值C成为上述规定量B的方式，对每个喷嘴进行上述第1喷嘴列单位或喷出单位或扫描单位的修正计算；和第2步骤，根据在上述第1步骤中修正后的向上述喷出区域喷出的计算上的全部液滴的重量的合计值D与上述规定量B的差值，以修正后的上述第1喷嘴列单位或者喷出单位或者扫描单位的上述液滴的重量、向相同的上述喷出区域喷出的修正后的第2喷嘴列单位或者喷出单位或者扫描单位的液滴的重量、与向相同的上述喷出区域喷出的上述第1和上述第2以外的喷嘴列单位或者喷出单位或者扫描单位的液滴的重量的合计值E成为上述规定量B的方式，对每个喷嘴进行第2喷嘴列单位或者喷出单位或者扫描单位的修正计算；阶段性地进行上述喷嘴列单位或者喷出单位或者扫描单位的数量的量的修正量计算。