[发明专利]涂层方法和用于衬底动态定位的部件操纵器及其使用

摘要

本发明涉及涂层方法和用于衬底动态定位的部件操纵器及其使用。具体地，提供了一种用于对在热处理工艺中要处理的衬底(2)进行动态定位的部件操纵器(1)，其中该部件操纵器(1)包括可绕主旋转轴线(3)旋转的主驱动轴(30)、连接元件(4)和可连接至连接元件(4)的衬底保持器(5)。根据本发明，连接元件(4)是陶瓷连接元件(4)，并且衬底保持器(5)的连接段(51)可借助于插塞旋转连接相对于该插塞旋转连接的连接轴线(V)以抗拉且旋转固定的方式连接至连接元件(4)，并且衬底保持器(5)布置成可绕连接轴线(V)旋转。本发明还涉及涂层方法、涉及涂层设备、以及涉及对部件操纵器(1)的使用。

主权项

一种用于在热处理工艺中对要处理的衬底(2)进行动态定位的部件操纵器，其中所述部件操纵器包括：能够绕主旋转轴线(3)旋转的主驱动轴(30)、连接元件(4)和能够连接至所述连接元件(4)的衬底保持器(5)，其特征在于，所述连接元件(4)为陶瓷连接元件(4)，所述衬底保持器(5)的连接段(51)借助于插塞旋转连接相对于所述插塞旋转连接的连接轴线(V)能够以抗拉且旋转固定的方式连接至所述连接元件(4)，并且所述衬底保持器(5)布置成能够绕所述连接轴线(V)旋转。