[发明专利]基板搬送装置及具备该基板搬送装置的基板加工装置

摘要

本发明提供一种基板搬送装置及具备该基板搬送装置的基板加工装置。在加热台(10)上，将2片玻璃基板(1a、1b)沿机械臂(3)的移动方向成列地排列配置，在加热台设置升降部件，该升降部件为了将玻璃基板举起到相同高度而上升，通过玻璃基板下降而将其交付至机械臂，并且在加热台具备升降部件控制装置，其为了在机械臂的温度上升过程中将玻璃基板以相同温度交付至机械臂，而使玻璃基板向机械臂的交付在该机械臂的叉(16)的前端(16a)侧先进行且在基端(16b)侧后进行。由此，即便用一个机械臂一次搬送多个基板也能使各基板的温度历史记录相同，能防止在各基板彼此之间产生温度不均，从而能均匀地完成多个基板，并且能够迅速地进行搬送。

主权项

一种基板搬送装置，其特征在于，该基板搬送装置具有机械臂，该机械臂能够在生产线中配备的加热台上进入上升后的基板之下，并通过该基板下降而接收该基板，然后该机械臂后退而沿着将该基板向下一个台搬送的水平方向移动，并且，该机械臂在其前端侧与基端侧之间，具有后进入该加热台的基端侧在比先进入该加热台的前端侧迟的定时升温的特性，在所述加热台上，将多个所述基板沿着所述机械臂的移动方向成列地排列配置，在所述加热台设置升降部件，该升降部件为了将这些基板举起到相同高度而上升，并且通过下降而将这些基板交付至所述机械臂，而且，在所述加热台具备定时调整部件，该定时调整部件为了在所述机械臂的温度上升过程中将多个所述基板以相同温度交付至该机械臂，而使这些基板向该机械臂的交付在该机械臂的前端侧先进行且在基端侧后进行。