[发明专利]用于PZT印刷头制造的作为间隙充填物的光刻胶材料的使用有效
| 申请号： | 201210090779.1 | 申请日： | 2012-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN102689518A | 公开（公告）日： | 2012-09-26 |
| 发明（设计）人： | 马克·A·塞吕拉;彼得·J·奈斯特龙;科克-绮·劳;约翰·P·梅尔斯;加里·D·雷丁;张元嘉 | 申请（专利权）人： | 施乐公司 |
| 主分类号： | B41J2/16 | 分类号： | B41J2/16;B41J2/045 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 李献忠 |
| 地址： | 美国康*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用于PZT印刷头制造的作为间隙充填物的光刻胶材料的使用。本发明提供了一种喷墨印刷头，包括多个压电元件和感光填隙层，所述感光填隙层充填各个相邻压电元件之间的间隔。形成所述喷墨印刷头可利用简化了的方法来将感光填隙层图案化，并利用激光烧蚀将遮盖贯穿隔膜的多个开口的隔膜附着材料移除。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 pzt 印刷 制造 作为 间隙 充填 光刻 材料 使用 | ||
【主权项】：
用于形成喷墨印刷头的方法，包括：将多个压电元件附着到隔膜上；施加感光填隙层以充填相邻压电元件之间的间隔且与所述隔膜接触；移除相邻压电元件之间的间隔中的所述感光填隙层的第一部分并且留下相邻压电元件之间的间隔中的所述感光填隙层的第二部分；以及利用相邻压电元件之间的间隔中的所述感光填隙层的所述第二部分，将所述多个压电元件附着到多个电极以提供各个压电元件和附于其上的所述电极之间的电路。
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