[发明专利]金属有机化合物化学气相沉积方法及其装置

摘要

一种金属有机化合物化学气相沉积方法及其装置。所述方法包括：提供基座及至少一基片；提供第一进气装置和第二进气装置，第一气体沿着第一出气口喷出的方向与第二气体沿着第二出气口喷出的方向成一夹角；第一气体与第二气体在基片上表面沉积得到一层金属有机化合物；第一气体在反应区域内浓度梯度分布，包括A区域和B区域，A区域的气体平均浓度高于B区域的气体平均浓度；第二气体在反应区域内的浓度梯度分布，包括C区域和D区域，C区域的气体平均浓度高于D区域的气体平均浓度；A区域与C区域间隔排列；基片依次通过A区域与C区域。本发明既可以避免反应气体提前反应，也可以提高反应速率，降低生产成本。

主权项

一种金属有机化合物化学气相沉积方法，其特征在于，包括：提供一基座及至少一基片，基座具有一上表面，所述基片设置于所述基座的上表面；提供用于传输第一气体的具有若干第一出气口的第一进气装置和用于传输第二气体的具有若干第二出气口的第二进气装置，所述第一气体沿着所述第一出气口喷出的方向与所述第二气体沿着所述第二出气口喷出的方向成一夹角，所述夹角的角度数值为60度～120度；所述第一气体与所述第二气体在所述基片上方形成反应区域，并在所述基片上表面沉积得到一层金属有机化合物；所述第一气体在所述反应区域内浓度梯度分布，包括A区域和B区域，所述A区域的第一气体平均浓度高于所述B区域的第一气体平均浓度；所述第二气体在所述反应区域内的浓度梯度分布，包括C区域和D区域，所述C区域的第二气体平均浓度高于所述D区域的第二气体平均浓度；所述A区域与所述C区域间隔排列，所述基片依次通过所述A区域与所述C区域。