[发明专利]一种二自由度微位移精密定位装置

摘要

一种二自由度微位移精密定位装置，属于一种微位移操作系统。为解决现有技术存在的缺陷，包括定位精度低、个自由度之间扰动大等问题，该装置包括载物台、基板、四个形状结构相同的嵌套式平行四边形柔性连杆机构、四组形状结构相同的平行四边形导向机构、第一压电致动器和第二压电致动器。本发明的有益效果在于，去掉桥式放大机构，改变了驱动模式，采用压电致动器直接驱动，提高了定位精度；本装置采用了两种不同的柔性连杆机构，实现各自由度的运动相互独立，各自由度间没有扰动，进一步提高了定位精度；并且整个结构除压电致动器以外是完全对称的，这样就可以保证在外界温度条件变化的时候不会对整个装置的定位精度产生影响。

主权项

一种二自由度微位移精密定位装置，其特征在于，该装置包括载物台(1)、基板(2)、四个形状结构相同的嵌套式平行四边形柔性连杆机构、四组形状结构相同的平行四边形导向机构、第一压电致动器(3A)和第二压电致动器(3a)；所述嵌套式平行四边形柔性连杆机构包括第一柔性双连杆组(4A)、第二柔性双连杆组(5A)、刚杆(6A)和U型刚性杆(7A)；所述第一柔性双连杆组(4A)的两端分别与载物台(1)和刚杆(6A)连接；所述第二柔性双连杆组(5A)两端分别与刚杆(6A)和U型刚性杆(7A)连接；所述四个形状结构相同的嵌套式平行四边形柔性连杆机构正交对称分布在载物台(1)的四个边上；所述平行四边形导向机构包括四根形状结构相同的柔性连杆(8A、8B、8C、8D)，所述四根形状结构相同的柔性连杆(8A、8B、8C、8D)对称分布在U型刚性杆(7A)的两侧，每侧两根，每根柔性连杆的一端与U型刚性杆(7A)相连，另一端与基板(2)相连；所述第一压电致动器(3A)和第二压电致动器(3a)分别位于载物台(1)对称轴的X轴负轴和Y轴负轴上，所述第一压电致动器(3A)和第二压电致动器(3a)的两端分别与嵌套式平行四边形柔性连杆机构中的U型刚性杆(7A)和基板(2)连接。