[发明专利]一种调焦调平信号处理方法

摘要

一种调焦调平信号处理方法，照明光源产生的照明光束投射到投影狭缝阵列上形成狭缝光束，狭缝光束投射到被测硅片上形成投影光束，经被测硅片反射后通过光学探测结构形成投影光斑，投影光斑入射到探测狭缝阵列上形成探测光斑，探测光斑入射到光电探测器上形成探测信号，光学探测结构包括偏置平板和扫描反射镜，扫描反射镜做简谐振动，该方法包括以下步骤，模数转换单元对探测信号进行模数转换后，结合所述扫描反射镜同步信号存储采样数据；获得采样数据中两个相邻波峰的时间间隔；判断被测硅片是否进入精测范围，如果进入精测范围，根据时间间隔计算出被测硅片的离焦量z；如果没有进入精测范围，重复上述步骤。该方法规避了因硅片面形貌差异导致的测量误差，提升系统的测量精度。

主权项

一种调焦调平信号处理方法，照明光源产生的照明光束投射到投影狭缝阵列上形成狭缝光束，所述狭缝光束投射到被测硅片上形成投影光束，经被测硅片反射后通过光学探测结构形成投影光斑，所述投影光斑入射到探测狭缝阵列上形成探测光斑，所述探测光斑入射到光电探测器上形成探测信号，所述光学探测结构包括偏置平板和扫描反射镜，所述扫描反射镜做简谐振动，其特征在于，该方法包括以下步骤：步骤1，模数转换单元对所述探测信号进行模数转换后，结合所述扫描反射镜同步信号存储采样数据；步骤2，获得所述采样数据中两个相邻波峰的时间间隔；步骤3，判断所述被测硅片是否进入精测范围，如果进入精测范围，根据所述时间间隔计算出所述被测硅片的离焦量z；如果没有进入精测范围，重复步骤2、3。