[发明专利]一种具有激光开槽正面电极的晶体硅太阳电池的制作方法有效

专利信息
申请号: 201210091683.7 申请日: 2012-03-30
公开(公告)号: CN102623564A 公开(公告)日: 2012-08-01
发明(设计)人: 班群;沈辉;梁宗存 申请(专利权)人: 中山大学
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L31/0224
代理公司: 广州知友专利商标代理有限公司 44104 代理人: 李海波
地址: 510275 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种具有激光开槽正面电极的晶体硅太阳电池的制作方法,包括镀氮化硅减反射膜工序,还含有以下工序:采用激光对晶体硅片正面的氮化硅减反射层和发射区进行激光开槽,再经后续含印刷正面银电极、背面银电极和背电场工序,烧结后获得具有激光开槽正面电极的晶体硅太阳电池。该方法能够克服银浆与氮化硅需要发生反应才能穿透SiNx层的缺陷,通过简化银浆制备工艺,简化银浆的配方,并降低银浆使用量从而减少制备太阳电池的成本。
搜索关键词: 一种 具有 激光 开槽 正面 电极 晶体 太阳电池 制作方法
【主权项】:
一种具有激光开槽正面电极的晶体硅太阳电池的制作方法,包括镀氮化硅减反射膜工序,其特征是还含有以下工序:采用激光对晶体硅片正面的氮化硅减反射层和发射区进行激光开槽,再经后续含印刷正面银电极、背面银电极和背电场工序,烧结后获得具有激光开槽正面电极的晶体硅太阳电池。
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