[发明专利]一种金属微腔光耦合太赫兹量子阱光子探测器

摘要

本发明提供一种金属微腔光耦合太赫兹量子阱光子探测器，包括：半导体衬底、金属反射层、多量子阱结构、以及金属光栅。所述金属光栅、多量子阱结构与金属反射层组成法布里-珀罗结构的金属共振微腔，调整所述金属光栅的周期、金属条的宽度以及多量子阱结构的厚度，使入射光子在腔体内形成符合法布里-珀罗结构的共振模，可以在金属共振微腔中形成强场区，提高了入射光的有效强度，进而提高器件的响应率、探测灵敏度和工作温度。本发明结构简单，效果显著，实用性强，适用于工业生产。

主权项

一种金属微腔光耦合太赫兹量子阱光子探测器，其特征在于，至少包括：半导体衬底；金属反射层，结合于所述半导体衬底；多量子阱结构，包括结合于所述金属反射层的下电极、结合于所述下电极的GaAs/(Al，Ga)As量子阱叠层、以及结合于所述GaAs/(Al，Ga)As量子阱叠层的上电极；金属光栅，结合于所述多量子阱结构，包括多个间隔排列的金属条；所述金属光栅、多量子阱结构与金属反射层组成法布里‑珀罗结构的金属共振微腔。